HORIBA “光谱技能在半导体范畴中的运用”QA集锦——拉曼、椭圆偏振、光学光谱
原理上是相同的,都归于光致发光光谱,不同之处在于:MicOS光谱仪所选用的光谱仪焦距长度跟拉曼光谱仪不相同,光谱分辨率也不相同;拉曼光谱仪首要是为了拉曼测验而规划,它的探测器CCD一般掩盖到1000nm左右,有些类型的拉曼光谱仪不能拓宽光谱规模到近红外波段,而MicOS能够灵敏方便地拓宽光谱规模从紫外到近红外(200-1600nm)。
引荐加滤光片,由于激起激光的能量很强,激起样品的一同,部分激起光会经过反射与信号光一同进入探测体系,或许会发生杂散光,为了尽最大或许防止搅扰,主张参加滤光片将激起光滤除。由于信号光能量较低,波长比激起光长,所以只需求参加截止波长在激起光和信号光之间的滤光片即可。此外,假如激起光的二级衍射光与信号光波长堆叠的话,那么也需求参加滤光片将激起光波长滤除然后消除激起光的二级衍射光。
荧光也是一种光致发光,可是荧光光谱仪一般用氙灯作为激起光源,能量比较低,关于宽带隙资料或许力不从心,定制化光致发光体系用激光作为激起光源,能够成功激起大部分样品。此处说到的寿数测验功用与HORIBA荧光光谱仪的寿数功用原理相同,并无差异,不过MicOS中丈量荧光寿数是在显微下丈量的,而荧光光谱仪一般是在宏参观路中丈量的。
7.运用光纤导入光谱仪(iHR550)时,狭缝的宽度对分辨率还会有影响吗?
MicOS的激光光斑照射到样品上的光强与所选用的激光器功率巨细相关,所选用激光器功率越高照射到样品的光强越大。激光照射到样品的光斑巨细与耦合方法(光纤耦合仍是自在光路耦合)以及所选用的物镜倍率相关,如选用100倍物镜,选用光纤耦合激光,光斑小于10um;选用自在光路耦合激光,光斑小于2um。
用532nm激光测验的深度为多少?(试验中测验不到厚度为100nm薄膜的Raman光谱)
4.咱们处理拉曼光谱的时分有时分要运用归一化的方法,这个对成果剖析会有影响吗?
若运用的是Labspec 6软件,至少有两种成像方法能够完成半高宽和强度成像。夹峰法:用线夹住需求成像的峰,在Analysis中,进入 Map characterization中挑选对应的Height, area, position, width进行成像。分峰拟合法:对所需成像的峰进行分峰拟合后,直接挑选各参数成像。夹峰法,现在多一同能够做三个峰的成像;分峰拟合理论上能轻松完成一切峰的成像。
10.教师您好,树脂样品532nm激光器基线上飘严峻,下降hole值依然,切换785nm后基线下飘,这个是荧光引起的吗,应怎么调理或许加激光器呢?
是相位调制器每变一下,搜集一组光强吗?那请问相位改动一个周期内会收集多少组数据来核算psi 和delta。
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